미세공정 필수 장비 독점 공급
화성에는 ‘ASML 클러스터’ 조성
이우경 ASML 코리아 대표(왼쪽 네번째)가 지난 16일 경기 용인시에 위치한 서플러스글로벌 반도체 장비 클러스터 내 글로벌 트레이닝 센터 개소식에 참석해 관계자들과 기념촬영을 하고 있다. ASML 코리아 제공
ASML의 한국 지사인 ASML 코리아는 경기도 용인에 EUV 노광장비 관련 기술을 전수하는 글로벌 트레이닝 센터를 개소했다고 18일 밝혔다. 이 센터는 약 1445㎡ 규모에 클린룸, 강의실, 사무공간 및 기타 편의시설을 갖췄다. 센터에서는 EUV 노광장비 유지·보수를 담당하는 엔지니어를 대상으로 심화 트레이닝 과정 등 기술교육 프로그램을 제공한다.
ASML은 반도체 미세공정에 꼭 필요한 EUV 노광장비를 독점 생산하고 있어 글로벌 반도체 시장에서는 ‘슈퍼을(乙)’로 통한다. 노광 공정은 미세하고 복잡한 전자회로를 반도체 웨이퍼에 그려 넣는 기술로, EUV 장비를 활용하면 짧은 파장으로 세밀하게 회로를 그릴 수 있다. 이 회사의 EUV 장비를 원활히 공급받기 위해 삼성전자에서는 이재용 회장이 직접 페테르 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)를 만나러 네덜란드까지 출장을 가기도 했다.
2022년 6월 네덜란드 에인트호번 ASML 본사를 방문한 이재용(오른쪽) 삼성전자 회장이 페테르 베닝크 CEO와 기념 촬영을 하고 있다. 삼성전자 제공
글로벌 트레이닝 센터는 지역 사회를 위한 사회공헌활동의 하나로 국내 대학과 연계한 산학협력 프로그램을 추진해 반도체 분야 미래 인재 육성에도 앞장설 계획이다.
이우경 ASML 코리아 대표는 “ASML은 양질의 기술 제공을 통해 고객사의 다양한 요구에 신속하게 대응하기 위해 힘써왔다”라면서 “앞으로도 고객사의 다양한 요구에 더욱 신속히 대응하는 것은 물론 반도체 생태계 발전을 위한 인재 육성도 적극 지원할 계획”이라고 말했다.
ASML은 경기 화성에 자사 클러스터도 건설하고 있다. 동탄2 도시지원시설 용지 1만 6000㎡ 부지에 부품 재제조 시설(재생센터)과 교육센터, 체험관 등을 신설한다. 투자 규모는 2400억원으로 총 300명의 신규고용이 전망된다.
지난해 11월 클러스터 착공식 참석을 위해 한국을 방문한 베닝크 CEO는 서울신문과 만난 자리에서 “우리는 앞으로 지속적으로 한국에 투자하며 한국 기업과 함께 성장해나갈 것”이라고 말했다.
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